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充氦回收部分主要包括高、低壓氦氣罐、無(wú)油真空泵、氣囊、無(wú)油氦氣壓縮機(jī)、電池閥門、壓力傳感器、真空計(jì)和管道組成。能在設(shè)定的時(shí)間內(nèi)對(duì)工件進(jìn)行抽真空、充氦和氦回收等處理。
