非晶硅太陽(yáng)能電池沉積設(shè)備主要用于在玻璃基片上沉積非晶硅薄膜工藝，是太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線上的關(guān)鍵設(shè)備，該設(shè)備有爐體機(jī)柜、電器控制柜、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)和R F電源等組成。采用工作站實(shí)行了全自動(dòng)控制：并且有高精度的壓力控制系統(tǒng)。通過(guò)該設(shè)備在基片上生長(zhǎng)外延膜，在片內(nèi)、片間和批間的均勻性和一致性都達(dá)到了國(guó)際同類產(chǎn)品水平。