低溫真空回火爐是一種先進的熱處理設(shè)備，適用于碳鋼及合金鋼工件的表面淬火和退火。其工藝主要包括以下幾個步驟：

1.裝料：將待處理的工件放入爐內(nèi)的料架或裝料平臺上，可以按照客戶的要求將料架放在一起，以保證材料的受熱均勻，達到熱處理的效果。

2.抽真空：關(guān)閉爐門，啟動真空系統(tǒng)，將爐內(nèi)氣壓抽到低于10-3Torr，以確保爐膛內(nèi)的環(huán)境處于真空狀態(tài)。

3.加熱和保溫：在爐內(nèi)安裝的溫控?zé)崤嫉目刂葡?，通過熱源直接加熱方式將工件加熱到奧氏體區(qū)，然后保溫一定時間，以確保工件充分加熱。

4.冷卻：在爐內(nèi)溫度達到預(yù)設(shè)值后，啟動冷卻系統(tǒng)，將工件快速冷卻到室溫或稍高于室溫，完成淬火過程。

5.充放氣：在爐內(nèi)氣壓達到常壓時，可以打開爐門，取出已經(jīng)處理的工件。同時，可以通過充放氣裝置對爐內(nèi)進行充氣或放氣操作。

6.清潔和維護：每次處理結(jié)束后，需要清理爐內(nèi)的廢料和料架等，保持爐體內(nèi)部的清潔。同時，定期對設(shè)備進行維護保養(yǎng)，如更換真空泵油、清洗爐內(nèi)壁等。

低溫真空回火爐的工藝具有節(jié)能效果顯著、生產(chǎn)效率高、改善勞動條件等優(yōu)點。同時，由于采用熱源直接加熱和保溫方式，避免了中間介質(zhì)的傳遞損失以及因傳導(dǎo)引起的熱量損耗等過程所消耗的能量，因此比傳統(tǒng)的熱處理工藝節(jié)約能量30%~50%。此外，由于爐內(nèi)氣氛可以控制，因此可以有效控制溫度場和氣氛場分布狀態(tài)并實現(xiàn)精確溫控。