真空設(shè)備可以根據(jù)其功能和設(shè)計特點進(jìn)行分類，主要可以分為以下六種：

1.主設(shè)備：這是核心設(shè)備，用于對真空系統(tǒng)中的容器進(jìn)行抽真空，以獲得滿足工藝要求的真空度。

2.粗抽設(shè)備：這種設(shè)備用于從大氣壓開始降低真空系統(tǒng)的壓強，直到另一個抽氣系統(tǒng)可以開始工作。

3.前級設(shè)備：這種設(shè)備用于保持另一個設(shè)備的壓強在其最高許可壓強以下。

4.維持設(shè)備：當(dāng)真空系統(tǒng)抽氣量很小，不能有效利用主要前級設(shè)備時，需要使用這種設(shè)備來維持主設(shè)備的正常工作或維持已抽空的容器所需的低壓。

5.高真空設(shè)備：這種設(shè)備可以在高真空范圍內(nèi)工作。

6.增壓設(shè)備：這種設(shè)備通常在低高真空設(shè)備之間工作，用于提高抽氣系統(tǒng)在中間壓強范圍的抽氣量或降低前級設(shè)備的抽氣速率要求。

每一種設(shè)備都在真空系統(tǒng)中扮演著重要的角色，共同完成了各種不同的真空任務(wù)。對于具體的真空設(shè)備，其分類可能會根據(jù)具體的功能和應(yīng)用有所不同。